一般采用As2O3碳还原法。将白砷与焦炭混合，放入钢罐内，用电炉或其他工业炉，加热至700～800℃，使砷蒸发，冷凝回收，可得纯度超过99％的金属砷。 我国制备高纯砷的工艺流程为：粗砷→氯化→精馏→三氯化砷氢还原，主要提纯过程是精馏。特别是采用砷填料精馏塔，可有效地除去硫和硒等难除的杂质。